Hassas Temizleme ve YüzeyTedavi
Gelişmiş proses teknolojileri için profesyonel temizleme ve yüzey işleme çözümleri sağlama konusunda uzmanız. Sektördeki stratejik ortaklarımızdan gelen kaynakları entegre ederek müşterilerimize kapsamlı hizmet desteği sunmak için işbirliği yapıyoruz. Ortaklarımız, 14nm düğümünü kapsayan teknik uzmanlığa sahip ekiplerle yarı iletken alanında 20 yılı aşkın pratik deneyime sahiptir. Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD), Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD), Dağlama ve İyon İmplantasyonu gibi işlemleri kapsayan 8 inç ve 12 inçlik levha fabrikaları için güvenilir bir şekilde temizleme ve yüzey işleme hizmetleri sağlama kapasitesine sahiptirler.
Bir hizmet köprüsü görevi görerek, entegre devre ve geniş yarı iletken imalatçısı müşterilerin sıkı kalite kontrol ve süreç zorluklarının üstesinden gelmesine, verimli ve istikrarlı hizmet desteği sunmasına yardımcı olmak için ortaklarımızın olgun kalite yönetim sistemlerinden ve hızlı yanıt veren hizmet yeteneklerinden yararlanıyoruz.
Hassas Temizleme Örnek Çalışmaları
Hassas yıkamadan sonra numune testi, parçacık seviyesi ve yüzeydeki metal iyon kalıntısı seviyesi mevcut 28nm işleminin gereksinimlerini karşılamalıdır.
-
Önce -
Sonrasında
-
Önce -
Sonrasında
-
Önce -
Sonrasında
-
Önce -
Sonrasında
Hassas Temizleme ve Yenileme Prosesi
-
Gelen Muayene
Gelen Muayene
Görünümü, özellikleri ve hasarı kontrol edin.
-
Maskeleme
Maskeleme
İşleme dışı alanları-korozyondan koruyun.
-
Kimyasal Sıyırma
Kimyasal Sıyırma
Eski kaplamaları hassas bir şekilde çıkarın.
-
Durulama/Islatma
Durulama/Islatma
Kimyasal kalıntıları saf su ile giderin.
-
Maskeleme
Maskeleme
Alanları kumlamadan koruyun.
-
Kumlama
Kumlama
Hedef pürüzlülüğe ulaşmak için parametreleri ayarlayın.
-
Boyutlandırma ve Muayene
Boyutlandırma ve Muayene
Spesifikasyonları karşılamak için boyutları ölçün ve düzeltin.
-
Termal Püskürtme
Termal Püskürtme
Ark veya Plazma aracılığıyla{0}aşınmaya dayanıklı kaplamalar uygulayın.
-
Yüksek-Basınçlı Yıkama
Yüksek-Basınçlı Yıkama
Büyük yüzey parçacıklarını çıkarın.
-
Ultrasonik Temizleme
Ultrasonik Temizleme
İnce parçacıkları gidermek için hassas temizlik yapın.
-
Temiz Oda Kurutma
Temiz Oda Kurutma
Bileşenleri Sınıf 100 temiz oda fırınında iyice kurutun.
-
Son Muayene
Son Muayene
Uyumluluğu sağlamak için kapsamlı kontroller gerçekleştirin.
-
Ambalajlama
Ambalajlama
Müşteri gereksinimlerine göre vakum paketi bileşenleri.
-
Gönderi Denetimi
Gönderi Denetimi
Miktarı ve ambalaj bütünlüğünü doğrulayın.
-
Son Teslimat
Son Teslimat
Raporlar oluşturun ve teslim edin.
Hizmet Yeteneği
► 5000m2(55000 ft2) temiz atölye alanı.
► Ayda 5.0000'den fazla parça işleme kapasitesi.
► 365 gün sürekli ve verimli hizmet.
► Farklı ürünler, farklı süreçler.
►Aşağıdaki teknolojileri içeren 8 lider işleme hattı:
- Kimyasal temizleme/sıyırma, Fiziksel sıyırma
- ARC-sprey, Plazma sprey, Kaplama, Dokulandırma, Vakumlu temizleme ve paketleme, revizyon vb.
Teknik Yetenek
► Süreç: 14nm gelişmiş süreç
► Servis kapsamı: 4 inç, 6 inç, 12 inç yarı iletken parçalar
► Hizmet süreci: PVD/CVD/ETCH/İMPLANT/LITHO
► Sıkı kalite kontrolü: Yüksek-standartta hassas temizleme teknolojisi