Rutenyum Hedefi

Antioksidan, korozyona-dirençli ve eşit biçimde film-oluşturma özelliği, yarı iletken ve veri depolama uygulamaları için son derece güvenilir bir ince-film biriktirme çözümü sağlar.

Rutenyum püskürtme hedefi, yüksek-saflıktaki rutenyumdan (Ru) rafine etme, eritme, dövme ve hassas işleme yoluyla üretilen bir platin grubu asil metal püskürtme hedefidir. Öncelikle fiziksel buhar biriktirme (PVD) magnetron püskürtme işlemlerinde kullanılır. Bu ürün, yüksek erime noktasına, yüksek sertliğe, mükemmel oksidasyon direncine ve kimyasal stabiliteye sahip olup, tekdüze ve yoğun rutenyum filmlerin üretilmesini sağlar. Gelişmiş yarı iletken bellek, entegre devre ara bağlantıları, difüzyon bariyeri katmanları ve veri depolama ve görüntüleme cihazlarında kapsamlı uygulamalar bulur.

Soruşturma göndermek

Ürün Açıklaması

Bu rutenyum hedefleri serisi, yüksek-saflıktaki rutenyum hammaddelerinden üretilir ve ark eritme ve tane arıtma işlemleri yoluyla yüksek yoğunluk ve tekdüze mikro yapı elde edilir. Ürünler, düzlemsel hedefler ve dönen hedefler de dahil olmak üzere çeşitli konfigürasyonlarda mevcuttur ve indiyum-bağlama/Elastik Gövde-bağlama arka plaka hizmetlerini destekleyerek onları DC püskürtme uygulamaları için uygun hale getirir.

Özellik

Yüksek saflıkta, geleneksel kalitede, ultra-yüksek saflık özelliklerinde mevcuttur.
Yüksek sertlik, mükemmel aşınma direnci ve üstün oksidasyon ve korozyon direnci.

Mükemmel yüksek-sıcaklık kararlılığına sahip aşırı yüksek erime noktası.
Film, tek biçimli birikim ve yüksek yoğunluk sergiliyor, bu da onu gelişmiş yarı iletken üretim süreçleri için uygun kılıyor.

Özellikler ve Modeller

Özelleştirilmiş boyutlar, kalınlık, saflık veya teknik özellikler için lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin. Püskürtme ekipmanınıza, kaplama gereksinimlerinize ve boyutsal spesifikasyonlarınıza göre özel malzeme çözümleri sağlayabiliriz.

Sınıflandırma Boyutu	Ürün Tipi	Temel Özellikler
Saflık derecesi	Farklı saflık dereceleri	Yarı iletkenler, ekranlar ve bellek cihazları için-genel amaçlı.
Ürün formatı	Dairesel düzlemsel rutenyum hedefi	Çoğu püskürtme ekipmanıyla uyumlu standart özellikler.
	Dikdörtgen/Blok-şekilli rutenyum hedefi	Geniş-alan kaplama uygulamaları için uygundur.
	Dönen rutenyum hedefi	Geniş-alanlı, yüksek-verimli biriktirme için uygundur.

Başvuru

Yarı iletkenler: DRAM/MIM kapasitör elektrotları, ara bağlantı difüzyon bariyer katmanları.
Gelişmiş Depolama: Manyetik Depolama, Faz-Değişim Belleği, Dirençli Bellek.
Entegre Devre: Bakır Ara Bağlantı Tohum Katmanı, Bariyer Katmanı ve Mantık Cihazı.
Görüntüleme cihazları: Düz-panel ekranlar, OLED ince-film elektrotları.
Optoelektronik ve Fotovoltaik: Optik Kaplamalar, Fotovoltaik Hücrelerin Fonksiyonel Katmanları.
Hassas Elektronikler: Aşınmaya-dayanıklı elektrik kontakları, kalın-film dirençler, sensörler.

Popüler Etiketler: rutenyum hedefi, Çin rutenyum hedefi üreticileri, tedarikçileri, fabrika